Το Ινστιτούτο Ηλεκτρονικής Δομής και Λέιζερ του Ιδρύματος Τεχνολογίας και Έρευνας (ΙΤΕ-ΙΗΔΛ) στο πλαίσιο του έργου «APECS-PL-PN:101183307», προτίθεται να προχωρήσει στην επισκεύη-συντήρηση του ευθυγραμμιστή μασκών οπτικής λιθογραφίας (Mask aligner)».